AX10FD微小气体流量计    气体流量控制器   微小气体质量流量计   微小流量计    微小流量计厂家    西安微小流量计   质量流量控制器

       AX10FD质量流量控制器(MassFlowController缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、***和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

AX10FD微小流量计的主要参数：